集成電路(DRAM)集成度
|
16K
|
64K
|
256K
|
1M
|
4M
|
16M
|
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相鄰線距(μm)
|
4
|
2.2
|
1.8
|
1.2
|
0.8
|
0.5
|
|
微粒
|
直徑(μm)
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0.4
|
0.2
|
0.2
|
0.1
|
0.08
|
0.05
|
個數(shù)(PCS/ml)
|
<100
|
<100
|
<20
|
<20
|
<10
|
<10
|
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細菌(CFU/100ML)
|
<100
|
<50
|
<10
|
<5
|
<1
|
<0.5
|
|
電阻率(μs/cm,25℃)
|
>16
|
>17
|
>17.5
|
>18
|
>18
|
>18.2
|
|
TOC(ppb)
|
<1000
|
<500
|
<100
|
<50
|
<30
|
<10
|
|
DO(ppb)
|
<500
|
<200
|
<100
|
<80
|
<50
|
<10
|
|
Na + (ppb)
|
<1
|
<1
|
<0.8
|
<0.5
|
<0.1
|
<0.1
|
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