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電子半導(dǎo)體行業(yè)超純水制取設(shè)備的工藝流程:

綠健水處理公司技術(shù)人員針對電子光學(xué)半導(dǎo)體行業(yè)選用以下工藝，采用的是二級反滲透+EDI裝置+核能拋光混床作為系統(tǒng)的主脫鹽設(shè)備；系統(tǒng)運行費用低，易于實現(xiàn)自動化，反滲透水處理系統(tǒng)具有很好的經(jīng)濟性。該工藝的特點先進、成熟、出水水質(zhì)穩(wěn)定、系統(tǒng)運行穩(wěn)定，反滲透+EDI脫鹽裝置。

原水箱→原水泵→全自動多介質(zhì)過濾器→全自動活性炭過濾器→還原劑加藥裝置→全自動軟化過濾器→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透系統(tǒng)→一級RO水箱→PH調(diào)節(jié)裝置→二級高壓泵→二級反滲透系統(tǒng)→二級RO純水箱→EDI增壓泵→UV殺菌器→脫氣膜→精密過濾器→EDI裝置→EDI純水箱→純水泵→拋光混床→0.22u膜過濾器→生產(chǎn)線用水點

電子半導(dǎo)體行業(yè)超純水制取設(shè)備的工藝介紹

1）預(yù)處理：主要是去除水中的有機物、懸浮物、膠體、硬度和余氯等，以確保RO能正常工作。處理工藝采用多介質(zhì)過濾，活性炭吸附，樹脂交換鈣鎂離子及相關(guān)藥劑，以減少RO工作時產(chǎn)生垢物和藻類生長及微生物污染及氧化劑

預(yù)處理系統(tǒng)包括：原水箱、原水泵、加藥系統(tǒng)、多介質(zhì)過濾、活性碳過濾、軟化器、保安過濾器。

反滲透裝置：反滲透主機是該項目預(yù)脫鹽的心臟部分，經(jīng)反滲透處理的水，能去除絕大部分無機鹽，微生物等。設(shè)計的合理與否直接關(guān)系到項目的投資費用、整個系統(tǒng)運行的經(jīng)濟效益、使用壽命、操作的可靠簡便性。反滲透膜均采用先進的低壓復(fù)合膜，單根脫鹽率達99.8%。當(dāng)系統(tǒng)設(shè)計溫度為20℃時，考慮到原水水質(zhì)變化以及膜的使用壽命等因素，本系統(tǒng)采用8英寸的復(fù)合RO膜，安裝在不銹鋼壓力容器內(nèi)?；厥章剩?0%～75%，脫鹽率：98%。RO系統(tǒng)回收率在50%～75%以上，系統(tǒng)脫鹽率不小于98%。在本項目中考慮到設(shè)備的節(jié)能、運行壓力、膜的透過濾、膜的脫鹽率、出水的含鹽量等因素，我公司推薦采用美國海德能、陶氏、東麗、GE、時代沃頓匯通等品牌的反滲透膜。

EDI裝置：EDI電除鹽系統(tǒng)是結(jié)合了電滲析與離子交換的優(yōu)點克服了二者存在的缺點的新技術(shù)，edi超純水處理工藝穩(wěn)定的工作狀態(tài)，有效的延長了EDI的使用壽命，并降低用戶的運行成本。其工作原理是三個過程，一是在直流電場作用下，水中電解質(zhì)通過離子交換膜發(fā)生選擇性遷移;二是陰陽離子交換樹脂對水中電解質(zhì)進行著離子交換，并構(gòu)成“離子通道”;三是離子交換樹脂界面水發(fā)生極化所產(chǎn)生的H+和OH-對交換樹脂進行著電化學(xué)再生。

拋光混床：拋光混床又稱一次性混床，一般情況用在高純水制取的工藝末端，用來更進一步提高產(chǎn)水水質(zhì)。拋光混床中的拋光樹脂是不能再生重復(fù)使用的，所謂拋光的意思就是樹脂的表面處理情況。

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