半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電 路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為 18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì),同時伴有對硅、塵粒、有機(jī)碳、微生物等物質(zhì)含量的要 求各不一。
電子工業(yè)用超純水的應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
2、超純材料和超純化學(xué)試劑;
3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電產(chǎn)品、液晶顯示器
6、其他高科技精微產(chǎn)品;
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